公开/公告号RU2657273C1
专利类型
公开/公告日2018-06-09
原文格式PDF
申请/专利号RU20170117779
发明设计人 BUDILOV VLADIMIR VASILEVICH;SHEKHTMAN SEMEN ROMANOVICH;VARDANYAN EDUARD LEONIDOVICH;NAZAROV ALMAZ YUNIROVICH;
申请日2017-05-22
分类号C23C14/24;H01J3/40;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 12:35:34