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Devices, methods and sample holders for testing photonic integrated circuits and photonic integrated circuits

机译:用于测试光子集成电路和光子集成电路的装置,方法和样品架

摘要

Methods and apparatus for testing a photonic integrated circuit (12) and a corresponding sample holder and a photonic integrated circuit are provided. By means of a scanning device (11), a location for an illumination light beam (15) can be selected so that a targeted coupling of the illumination light into the photonic integrated circuit (12) is made possible.
机译:提供了用于测试光子集成电路(12)以及相应的样品保持器和光子集成电路的方法和设备。借助于扫描装置(11),可以选择照明光束(15)的位置,使得可以将照明光定向地耦合到光子集成电路(12)中。

著录项

  • 公开/公告号DE102017101626B4

    专利类型

  • 公开/公告日2018-09-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CARL ZEISS AG;

    申请/专利号DE201710101626

  • 发明设计人 PHILIPP HÜBNER;STEFAN RICHTER;

    申请日2017-01-27

  • 分类号G01M11/02;G02B21;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 12:34:14

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