公开/公告号EP2912208B1
专利类型
公开/公告日2019-01-09
原文格式PDF
申请/专利号EP20130840168
申请日2013-10-29
分类号C23C14/28;C23C14/02;C23C14/08;C30B29/60;C30B23/06;C01G9/02;B82Y20/00;B82Y40/00;C30B29/16;H01L31/0296;H01L31/18;B82Y30/00;C30B23/02;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:30:24