公开/公告号EP3230796B1
专利类型
公开/公告日2019-06-05
原文格式PDF
申请/专利号EP20150817054
发明设计人 NEES DIETER;LEITGEB MARKUS;STADLOBER BARBARA;RUTTLOFF STEPHAN;LINTSCHNIG ANDRÉ;SATZINGER VALENTIN;
申请日2015-12-09
分类号G03F7;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/029;G03F7/031;G03F7/075;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:29:35