公开/公告号EP3483657A1
专利类型
公开/公告日2019-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号EP20180211709
发明设计人 PELLEMANS HENRICUS PETRUS MARIA;DEN BOEF ARIE JEFFREY;CORBEIJE WILHELMUS MARIA;VAN DER LAAN HANS;
申请日2006-06-20
分类号G03F7/20;G02B6;G01B11;H01L21;G01N21/47;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:27:55