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FEMTOSECOND LASER BASED METHOD FOR FABRICATION OF MICRO- AND NANO-CONSTRICTION TYPE STRUCTURES ON A YBA2-CU3O7-xSUPERCONDUCTING THIN FILM

机译:YFE2-x3超导薄膜上基于微秒级激光的微和纳米结构型结构的制造方法

摘要

A method of manufacturing micro- and nano-constriction type structures on a YBCO thin film, the method including ablating a predefined pattern onto the thin film by means of a femtosecond laser, and a superconductor device which includes a YBCO thin film onto which a predefined pattern is ablated by means of a femtosecond laser.
机译:一种在YBCO薄膜上制造微收缩和纳米收缩型结构的方法,该方法包括通过飞秒激光在薄膜上烧蚀预定的图案,以及包括在其上预定的YBCO薄膜的超导体装置用飞秒激光烧蚀图案。

著录项

  • 公开/公告号EP3485507A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-05-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNISA;

    申请/专利号EP20170769552

  • 申请日2017-03-23

  • 分类号H01L21/26;B05D3/06;B05D5;B05D5/12;B23K26/12;H01L29/06;H05B6;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 12:27:32

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