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Heating element for surface heater of MOCVD reactor

机译：MOCVD反应器表面加热器的加热元件

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The invention is related to a heating element (10) comprising a heating body (20) which is directly covered at least partly with a porous sintered coating (30), wherein the heating body (20) the porous sintered coating (30) each comprises at least 90 % by weight of tungsten.

机译：本发明涉及一种包括加热体（20）的加热元件（10），该加热体（20）至少部分地直接覆盖有多孔烧结涂层（30），其中该多孔烧结涂层（30）的加热体（20）各自包括至少90％（重量）的钨。

著录项

公开/公告号JP6422866B2

专利类型
公开/公告日2018-11-14

原文格式PDF
申请/专利权人プランゼーエスエー;ビーコ・インスツルメンツ・インコーポレーテッド;
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申请/专利号JP20150525776
发明设计人マルティンツ、ハンス－ペーター;スリク、マンフレッド;ボグスラフスキー、ヴァディム;
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申请日2013-08-05
分类号H01L21/205;H05B3/10;H05B3/12;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:18:08

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