公开/公告号US10324383B2
专利类型
公开/公告日2019-06-18
原文格式PDF
申请/专利号US201615764594
发明设计人 RAYMOND WILHELMUS LOUIS LAFARRE;ADRIANUS HENDRIK KOEVOETS;MICHAEL LEO NELSON;JACOBUS CORNELIUS GERARDUS VAN DER SANDEN;GEOFFREY OCONNOR;MICHAEL ANDREW CHIEDA;TAMMO UITTERDIJK;
申请日2016-10-05
分类号G03F7/20;H01L21/683;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:16:23