公开/公告号US10388655B2
专利类型
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION;SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING) CORPORATION;
申请/专利号US201715473318
发明设计人 YONG LI;JIAN HUA XU;
申请日2017-03-29
分类号H01L21/82;H01L27/092;H01L21/285;H01L21/8234;H01L29/40;H01L29/49;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/088;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:33