公开/公告号US10460924B2
专利类型
公开/公告日2019-10-29
原文格式PDF
申请/专利号US201414767603
发明设计人 WOLFRAM FLIEGEL;CHRISTOPH KLEMENT;CHRISTA WILLNAUER;MAX SCHEFFER-CZYGAN;ANDRÉ KLEINWECHTER;STEFAN EICHLER;BERNDT WEINERT;MICHAEL MÄDER;
申请日2014-02-12
分类号C30B33/10;H01L21/02;G01N21/21;H01L29/20;G01N21/17;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:01