公开/公告号US10464959B2
专利类型
公开/公告日2019-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 INTEL CORPORATION;
申请/专利号US201515570989
发明设计人 PATRICIO E. ROMERO;
申请日2015-06-18
分类号H01L21;C07F15;C07F1;H01L21/768;H01L21/285;C23C16/04;C23C16/18;C07F1/02;C07F11;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:22