公开/公告号US10205002B2
专利类型
公开/公告日2019-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715418128
申请日2017-01-27
分类号C23C16/455;C30B25/02;C30B25/04;C30B25/16;C30B25/18;H01L21/02;H01L21/24;H01L21/762;H01L29/04;H01L29/08;H01L29/66;H01L29/78;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:13:21