公开/公告号US10163648B2
专利类型
公开/公告日2018-12-25
原文格式PDF
申请/专利号US201715599851
申请日2017-05-19
分类号H01L21/308;H01L21/033;H01L21/027;H01L21/02;H01L21/3105;G03F7/11;B05D3/10;C09D133/10;C08L33/10;C09D133/12;B05D3/06;C09D133/08;C08L33/12;C09D135/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:12:53