公开/公告号US2019303717A1
专利类型
公开/公告日2019-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201916364140
发明设计人 KRIS BHASKAR;LAURENT KARSENTI;BRAD RIES;LENA NICOLAIDES;RICHARD (SENG WEE) YEOH;STEPHEN HIEBERT;
申请日2019-03-25
分类号G06K9/62;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:29