公开/公告号US2019079397A1
专利类型
公开/公告日2019-03-14
原文格式PDF
申请/专利权人 NISSAN CHEMICAL CORPORATION;
申请/专利号US201716083869
发明设计人 TAKAFUMI ENDO;KEISUKE HASHIMOTO;HIROKAZU NISHIMAKI;MAMORU TAMURA;RIKIMARU SAKAMOTO;HIKARU TOKUNAGA;
申请日2017-03-07
分类号G03F7/023;G03F7/025;G03F7/027;G03F7/11;G03F7/20;H01L21/027;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:02