公开/公告号US2019242938A1
专利类型
公开/公告日2019-08-08
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;KLA-TENCOR;
申请/专利号US201815887357
申请日2018-02-02
分类号G01R31/265;H01L21/66;H01L21/28;G01R31/02;G01R31/26;G01B15/02;G01N21/21;G01N21/33;G01N33;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:06:24