公开/公告号US2018342389A1
专利类型
公开/公告日2018-11-29
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201816037932
发明设计人 KAPU SIRISH REDDY;NAGRAJ SHANKAR;SHANKAR SWAMINATHAN;MELIHA GOZDE RAINVILLE;FRANK L. PASQUALE;
申请日2018-07-17
分类号H01L21/02;H01L21/768;C23C16/455;C23C16/40;H01L23/532;H01L23/528;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:04:38