公开/公告号US2018350562A1
专利类型
公开/公告日2018-12-06
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201816001264
发明设计人 SANJEEV BALUJA;YI YANG;TRUONG NGUYEN;NATTAWORN NUNTAWORANUCH;JOSEPH F. AUBUCHON;TUAN ANH NGUYEN;KARTHIK JANAKIRAMAN;
申请日2018-06-06
分类号H01J37/32;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:04:00