公开/公告号WO2019011608A1
专利类型
公开/公告日2019-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号WO2018EP66438
发明设计人 QUINTANILHA RICHARD;SMAKMAN ERWIN PAUL;AKBULUT DUYGU;KUMAR NITISH;GOORDEN SEBASTIANUS ADRIANUS;SETIJA IRWAN DANI;
申请日2018-06-20
分类号G03F9;G01N23/225;G01R31/305;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:57:19