公开/公告号WO2019084609A1
专利类型
公开/公告日2019-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 MONASH UNIVERSITY;
申请/专利号WO2018AU51173
发明设计人 FUHRER MICHAEL SEARS;EDMONDS MARK THOMAS;HELLERSTEDT JOHN THERY;COLLINS JAMES LEE RICHARD JESSEE;LIU CHANG;
申请日2018-10-31
分类号H01L21/02;H01L29/12;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:55:01