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机译:具有33口袋配置的33晶圆载体
公开/公告号KR20190001370U
专利类型
公开/公告日2019-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드;
申请/专利号KR2020170006850
发明设计人 율리 라스코브스키;만다 데쉬판드;알렉산더 그레리;산딥 크리스낭;아니루드 파렉;
申请日2017-12-29
分类号H01L21/673;C23C16/44;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:47:20
机译: 具有33口袋配置的33晶圆载体
机译: 具有33口袋配置的晶圆载具
机译: 晶圆载具系统,晶圆载具,具有晶圆和晶圆载具的系统以及掩模对准器