公开/公告号EP3605585A1
专利类型
公开/公告日2020-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 TOYO TANSO CO. LTD.;
申请/专利号EP20180771381
发明设计人 TORIMI SATOSHI;SUDO YUSUKE;SHINOHARA MASATO;TERAMOTO YOUJI;SAKAGUCHI TAKUYA;NOGAMI SATORU;KITABATAKE MAKOTO;
申请日2018-03-20
分类号H01L21/205;C30B29/36;H01L21/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:37:56