机译:框型气相沉积面膜,框型气相沉积面膜的制备体,气相沉积图案的形成方法,有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示器的制造方法
公开/公告号JP2020073726A
专利类型
公开/公告日2020-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 DAINIPPON PRINTING CO LTD;
申请/专利号JP20190234459
申请日2019-12-25
分类号C23C14/04;H05B33/10;H01L51/50;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 11:37:25