用于有机发光二极管材料图案化气相沉积的荫罩、包括其的荫罩模块及制造荫罩模块的方法

摘要

本发明关于一种用于有机发光二极管(OLED)材料图案化气相沉积的荫罩和荫罩模块。荫罩包括在拉伸应力下的陶瓷膜，所述陶瓷膜包括具有多个通孔的中央膜区域。而通孔形成孔阵列，使汽化的沉积材料可以通过该孔阵列。外围膜区域围绕中央膜区域。多层外围支撑件附接至外围膜区域的后表面，并在中央膜区域下方具有中空部分。多层外围支撑件具有基底层和位于压缩应力下的中间层，该中间层位于基底层上方并附着至外围膜区域的下表面。选择中间层的压缩应力以平衡陶瓷膜的拉伸应力，使得陶瓷膜保持在平面状态。荫罩模块包括具有多个支撑窗的刚性载体和附着于支撑窗框上的多个荫罩。