公开/公告号JP6730457B2
专利类型
公开/公告日2020-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 インテグリス・インコーポレーテッド;
申请/专利号JP20180559828
发明设计人 チャンバース;バリー ルイス;ティエン;ビーイング-ツァイアー;スウィーニー;ジョーゼフ ディー.;タン;イン;バイル;オレグ;ビショップ;スティーヴン イー.;イェーデーヴ;シャラド エヌ.;
申请日2017-05-10
分类号H01J37/317;H01L21/265;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 11:33:44