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Metrological scanning probe microscope

机译:计量扫描探针显微镜

摘要

This invention relates to a metrological scanning probe microscope system combining an SPM which employs an optical lever arrangement to measure displacement of the probe indirectly with another SPM which measures the displacement of the probe directly through the use of an interferometric detection scheme.
机译:本发明涉及一种结合了SPM的计量扫描探针显微镜系统,该SPM采用光学杠杆装置间接地测量探针的位移,而另一SPM则通过干涉测量方案直接测量探针的位移。

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