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Vapor-deposited nanoscale ionic liquid gels as gate insulators for low-voltage high-speed thin film transistors

机译:气相沉积纳米级离子液体凝胶作为低压高速薄膜晶体管的栅极绝缘体

摘要

Described are materials and methods for fabricating low-voltage MHz ion-gel-gated thin film transistor devices using patternable defect-free ionic liquid gels. Ionic liquid gels made by the initiated chemical vapor deposition methods described herein exhibit a capacitance of about 1 μF cm−2 at about 1 MHz, and can be as thin as about 20 nm to about 400 nm.
机译:描述了使用可构图的无缺陷离子液体凝胶制造低压MHz离子凝胶门控薄膜晶体管器件的材料和方法。通过本文所述的引发的化学气相沉积方法制备的离子液体凝胶在约1MHz处显示出约1μFcm Sup -2 的电容,并且可以薄至约20nm至约400nm。

著录项

  • 公开/公告号US10510971B2

    专利类型

  • 公开/公告日2019-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY;

    申请/专利号US201816038750

  • 发明设计人 ANDONG LIU;KAREN K. GLEASON;MINGHUI WANG;

    申请日2018-07-18

  • 分类号H01L51/05;H01G11/04;H01L51;B05D1;C08J5/18;H01B1/12;H01L21/02;H01L49/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:29:05

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