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Reverse pattern formation composition, reverse pattern formation method, and device formation method

机译:反向图案形成组合物,反向图案形成方法和器件形成方法

摘要

[Problem] To provide a composition, which is a reverse pattern formation composition comprising an aqueous solvent having little influence on a resist pattern, and which is excellent in flatness and filling properties after coating and has excellent etching resistance. Furthermore, a method for forming a pattern using the same is provided. [Means for Solution] A reverse pattern formation composition comprising a polysiloxane compound comprising a repeating unit having a nitrogen-containing group and a solvent comprising water, and a method for forming a fine pattern using the same.
机译:[问题]提供一种组合物,该组合物为包含对抗蚀剂图案几乎没有影响的水性溶剂的反向图案形成用组合物,并且其涂布后的平坦度和填充性优异,并且具有优异的耐蚀刻性。此外,提供了一种使用该图案形成图案的方法。 [溶液的手段]包括形成有包含具有含氮基团的重复单元的聚硅氧烷化合物和包含水的溶剂的反向图案形成用组合物,以及使用其形成精细图案的方法。

著录项

  • 公开/公告号US10670969B2

    专利类型

  • 公开/公告日2020-06-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MERCK PATENT GMBH;

    申请/专利号US201716314716

  • 发明设计人 XIAOWEI WANG;TATSURO NAGAHARA;

    申请日2017-07-03

  • 分类号G03F7/36;G03F7/075;G03F7/40;C09D183/04;G03F7/16;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:28:23

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