公开/公告号US10483093B2
专利类型
公开/公告日2019-11-19
原文格式PDF
申请/专利号US201414148606
发明设计人 PETER MASCHWITZ;
申请日2014-01-06
分类号H01L21;C23C16;H01J37/32;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/503;H05H1/24;C03C17/245;C23C16/513;H05H1/42;H05H1/46;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:21