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Interlocking nest wafer protector

机译:互锁式晶圆保护器

摘要

An interlocking ring wafer separator for reducing particles during shipment of integrated circuit wafers has a wafer shelf, an interlocking tab which prevents the edge of the wafer from coming into contact with the inner wall of the wafer shipping container, and an interlocking slot into which the interlocking tab of a second interlocking ring wafer separator may be inserted locking the two interlocking ring wafer separators together in the coin stacked wafers.
机译:一种用于在集成电路晶片的运输过程中减少颗粒的互锁环形晶片分离器,具有一个晶片架,一个防止晶片边缘与晶片运输容器内壁接触的互锁舌片和一个互锁槽,在该互锁槽中,可以插入第二互锁环形晶片分离器的互锁舌片,从而将两个互锁环形晶片分离器在硬币堆叠的晶片中锁定在一起。

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