公开/公告号US10616987B2
专利类型
公开/公告日2020-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201514839338
申请日2015-08-28
分类号G01J1/44;H05G2;G01J3/18;G01N21/956;G01J3/14;G03F7/20;G01J3/02;G01N21/95;G01N21/88;G01J3/12;G02B26/08;G02B5/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:26:02