公开/公告号US10553440B2
专利类型
公开/公告日2020-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM INTERNATIONAL N.V.;
申请/专利号US201615186950
申请日2016-06-20
分类号H01L21/28;H01L29/45;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/285;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/3213;H01L21/3215;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:24:44