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DISPLAY PANEL, DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR PREPARING A LOW-TEMPERATURE POLYSILICON THIN FILM TRANSISTOR

机译:显示面板,显示装置和用于制备低温多晶硅薄膜晶体管的方法

摘要

A display panel, a display device and a method for preparing a low-temperature polysilicon thin film transistor are provided. The method includes: providing a base substrate; forming a semiconducting layer on the base substrate; forming a first insulating layer on the semiconducting layer; forming a first metal layer on the first insulating layer and pattering the first metal layer to obtain a first metal gate layer; forming a second insulating layer on the first metal layer; forming a second metal layer on the second insulating layer and patterning the second metal layer to obtain a second metal gate layer; forming a third insulating layer on the second metal layer; forming a third metal layer on the third insulating layer and patterning the third metal layer to form a source and a drain. The LTPS technology can be applied to the production of large-size panels by adopting the present disclosure.
机译:提供了一种显示面板,显示装置以及用于制备低温多晶硅薄膜晶体管的方法。该方法包括:提供基础衬底;以及在基础基板上形成半导体层;在半导体层上形成第一绝缘层;在第一绝缘层上形成第一金属层,并图案化第一金属层以获得第一金属栅层;在第一金属层上形成第二绝缘层;在第二绝缘层上形成第二金属层,并对第二金属层进行构图,得到第二金属栅层;在第二金属层上形成第三绝缘层;在第三绝缘层上形成第三金属层,并对第三金属层进行构图以形成源极和漏极。通过采用本公开,LTPS技术可以应用于大尺寸面板的生产。

著录项

  • 公开/公告号US2019386027A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-12-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利号US201715579250

  • 发明设计人 JIAWEI ZHANG;

    申请日2017-10-18

  • 分类号H01L27/12;H01L29/66;H01L29/786;H01L29/423;H01L29/49;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:23:35

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