首页> 外国专利> Method of Manufacturing Module Having Multiple Pattern Areas, Module Having Multiple Pattern Areas According to the Method, and Method of Manufacturing Diffraction Grating Module or Mold for Diffraction Grating Module

Method of Manufacturing Module Having Multiple Pattern Areas, Module Having Multiple Pattern Areas According to the Method, and Method of Manufacturing Diffraction Grating Module or Mold for Diffraction Grating Module

机译:具有多个图案区域的模块的制造方法,根据该方法的具有多个图案区域的模块,以及制造衍射光栅模块或衍射光栅模块的模具的方法

摘要

Exemplary embodiments of the present invention provide a method of manufacturing a module having multiple pattern areas, a module having multiple pattern areas according to the method, and a method of manufacturing a diffraction grating module or a mold for a diffraction grating module.
机译:本发明的示例性实施方式提供了一种制造具有多个图案区域的模块的方法,根据该方法的具有多个图案区域的模块以及一种制造衍射光栅模块或用于衍射光栅模块的模具的方法。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号