法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/18 申请日:20180801
实质审查的生效
2020-04-17
公开
公开
机译: 制造具有多个图案区域的模块的方法,具有多个图案区域并根据该方法制造的模块,以及制造衍射光栅模块或用于衍射光栅模块的模具的方法
机译: 具有多个图案区域的模块的制造方法,根据该方法的具有多个图案区域的模块,以及制造衍射光栅模块或衍射光栅模块的模具的方法
机译: 具有多个图案区域的模块的制造方法,以及用于衍射光栅模块或衍射光栅模块的模具的制造方法