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ARTIFICIAL INTELLIGENCE ENABLED VOLUME RECONSTRUCTION

机译:人工智慧可实现体积重建

摘要

Methods and apparatuses for implementing artificial intelligence enabled volume reconstruction are disclosed herein. An example method at least includes acquiring a first plurality of multi-energy images of a surface of a sample, each image of the first plurality of multi-energy images obtained at a different beam energy, where each image of the first plurality of multi-energy images include data from a different depth within the sample, and reconstructing, by an artificial neural network, at least a volume of the sample based on the first plurality of multi-energy images, where a resolution of the reconstruction is greater than a resolution of the first plurality of multi-energy images.
机译:本文公开了用于实现人工智能使能的体积重建的方法和装置。示例方法至少包括获取样品表面的第一多个多能量图像,第一多个多能量图像中的每个图像以不同的束能量获得,其中第一多个多能量图像中的每个图像以不同的束能量获得。能量图像包括来自样本内不同深度的数据,并通过人工神经网络基于第一组多个多能量图像重建至少一部分样本,其中重建的分辨率大于分辨率。第一多个多能量图像中的一个。

著录项

  • 公开/公告号US2020312611A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI COMPANY;

    申请/专利号US201916369975

  • 申请日2019-03-29

  • 分类号H01J37/26;H01J37/31;G06N3/08;G06N20;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:22:15

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