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Combined patch and design-based defect detection

机译:结合了补丁和基于设计的缺陷检测

摘要

Defect detection is performed by comparing a test image and a reference image with a rendered design image, which may be generated from a design file. This may occur because a comparison of the test image and another reference image was inconclusive due to noise. The results of the two comparisons with the rendered design image can indicate whether a defect is present in the test image.
机译:通过将测试图像和参考图像与可从设计文件生成的渲染设计图像进行比较来执行缺陷检测。这可能是由于噪声导致测试图像与另一个参考图像的比较不确定而导致的。与渲染的设计图像的两次比较结果可以指示测试图像中是否存在缺陷。

著录项

  • 公开/公告号IL262671A

    专利类型

  • 公开/公告日2020-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;

    申请/专利号IL20180262671

  • 发明设计人

    申请日2018-10-29

  • 分类号G06K9/62;G06T1;G06T7;

  • 国家 IL

  • 入库时间 2022-08-21 11:17:15

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