公开/公告号WO2020161080A1
专利类型
公开/公告日2020-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 AMS INTERNATIONAL AG;
申请/专利号WO2020EP52635
发明设计人 SHEAHAN BENJAMIN JOSEPH SHEAHAN;JENNINGS RICHARD;HELMICK ROBERT ALLEN;MAGERL MARKO;STOCKREITER CHRISTIAN;
申请日2020-02-03
分类号H01L23/552;H01L31/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:55