公开/公告号KR20200055479A
专利类型
公开/公告日2020-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMES CO. LTD.;
申请/专利号KR20180139177
发明设计人 CHOI JEONG TAE;CHOI SI YONG;KIM WOON SIK;KIM SUNG BONG;KONG CHUN HO;JEON SANG HYON;HWANG JEONG MO;
申请日2018-11-13
分类号H01L21/67;G01R31/28;H01L21/66;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:06:59