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Micromechanical component and method for producing a micromechanical component

机译:微机械部件和制造微机械部件的方法

摘要

A micromechanical component, in particular a rotation rate sensor, is proposed with a substrate having a main extension plane and at least one mass oscillator, the mass oscillator being mounted such that it can vibrate with respect to the substrate via one or more spring elements, characterized in that at least one spring element comprises a first spring element and a has a second spring part element, the first spring part element and the second spring part element being arranged one above the other with respect to a vertical direction perpendicular to the main plane of extension and being spaced apart from one another in the vertical direction. A method for producing a micromechanical component is also proposed.
机译:提出了一种微机械部件,特别是转速传感器,其具有具有主延伸平面的基板和至少一个质量振荡器,该质量振荡器被安装为使得它可以经由一个或多个弹簧元件相对于基板振动,其特征在于,至少一个弹簧元件包括第一弹簧元件并且具有第二弹簧部分元件,第一弹簧部分元件和第二弹簧部分元件相对于垂直于主平面的竖直方向彼此叠置。在垂直方向上彼此间隔开。还提出了一种制造微机械部件的方法。

著录项

  • 公开/公告号DE102018210482A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-01-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号DE201810210482

  • 发明设计人 JOCHEN REINMUTH;ROBERT MAUL;

    申请日2018-06-27

  • 分类号B81B3;B81B7/02;B81C1;G01C19/5733;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:43

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