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Microelectromechanical inertial sensor with a substrate and an electromechanical structure arranged on the substrate

机译：具有衬底和布置在衬底上的机电结构的微机电惯性传感器

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摘要

A microelectromechanical inertial sensor with a substrate and an electromechanical structure arranged on the substrate is proposed
机译：提出了一种具有衬底和布置在衬底上的机电结构的微机电惯性传感器。

著录项

  • 公开/公告号DE102018217809A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-04-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号DE102018217809A1

  • 发明设计人 TOBIAS BOESER;STEFAN KIESEL;

    申请日2018-10-18

  • 分类号G01P15/125;G01P15/097;G01C19/5733;B81B7/02;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:39

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