首页> 外国专利> Method for producing a holding and positioning device and a heat sink

Method for producing a holding and positioning device and a heat sink

机译:保持定位装置的制造方法和散热器

摘要

The invention relates to a method for producing a holding and positioning device (16), in particular a hexapod, preferably for holding and positioning an optical element, comprising: producing at least two components (7, 12) of the holding and positioning device (16) Additive manufacturing, as well as joining the at least two components (7, 12) by means of a non-positive, positive and / or material connection to produce the holding and positioning device (16) The invention also relates to such a holding and positioning device (16), a method for producing a heat sink by additive manufacturing, such a heat sink and an EUV lithography device.
机译:本发明涉及一种用于制造优选地用于保持和定位光学元件的保持和定位装置(16),尤其是六脚架的方法,该方法包括:生产保持和定位装置(7)的至少两个部件(7、12)。 16)增材制造,以及通过力锁合,正锁合和/或材料锁合连接至少两个部件(7,12),以制造保持和定位装置(16)。保持和定位装置(16),一种通过增材制造制造散热器的方法,例如散热器和EUV光刻设备。

著录项

  • 公开/公告号DE102019204335A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;

    申请/专利号DE201910204335

  • 发明设计人 TIMO MÖLLER;JAN GROSSMANN;MATTHIAS LUTZ;

    申请日2019-03-28

  • 分类号F16S5;G02B7;G02B7/182;G03F7/20;B33Y10;B33Y80;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:13

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号