Eine piezoelektrische Dünnschicht 3 enthält ein Metalloxid, das Metalloxid enthält Bismut, Kalium, Titan, Eisen und das Element M, das Element M ist mindestens eines von Magnesium und Nickel, mindestens ein Teil des Metalloxids ist ein Kristall mit einer Perowskitstruktur, und eine (001) Ebene, eine (110) Ebene oder eine (111) Ebene des Kristalls ist Richtung dn der Oberflächennormalen der piezoelektrischen Dünnschicht 3 orientiert.
展开▼