法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-01-10
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-01-02
授权
授权
1998-02-11
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1997-10-22
公开
公开
机译: 用于集成电路制造过程中的极端UV光刻系统的反射镜组件,具有致动装置,该致动装置通过在反射镜基板内表面上的接触元件上施加压力将流体引入腔体中
机译: 用于例如控制面板的显示设备机动车辆具有反射镜装置,该反射镜装置具有可调节的反射镜,这些反射镜被致动,使得在反射镜装置照明时,根据显示区域上的像素来引导反射镜
机译: 与致动镜阵列一起使用的像素数据校正设备