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在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置

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本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置，用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。

著录项

公开/公告号CN101644639B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-04

原文格式PDF
申请/专利权人全域探测器公司;
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申请/专利号CN200910164657.0
发明设计人托马斯·穆尔;
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申请日2004-11-03
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人王琼先
地址美国得克萨斯
入库时间 2022-08-23 09:10:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-24

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 1/28 授权公告日:20120704 终止日期:20131103 申请日:20041103

专利权的终止
2012-07-04

授权

授权
2010-04-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20041103

实质审查的生效
2010-02-10

公开

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2. 在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置 [P] . 中国专利： CN101644641B . 2012.07.04
3. METHOD AND APPARATUS FOR RAPID SAMPLE PREPARATION IN A FOCUSED ION BEAM MICROSCOPE [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1682254A4 . 2012-05-02

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