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在图形化硅上制作碲化镉汞

摘要

本发明涉及在图形化的硅上制造碲化镉汞(CMT),具体地涉及在承载集成电路的硅衬底上生长CMT。本发明的方法涉及首先通过MBE生长一个或多个缓冲层并随后通过MOVPE生长CMT,由此在硅衬底上的选定生长窗口内生长CMT。可以通过掩蔽生长窗口的外部区域而定义该生长窗口。该生长窗口内的生长是晶态的,而生长窗口外部的任何生长是多晶的并可通过刻蚀而清除。本发明提供了直接在集成电路上生长CMT结构的方法,消除了混合的需要。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-09-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 29/48 授权公告日:20120704 终止日期:20140801 申请日:20050801

    专利权的终止

  • 2012-07-04

    授权

    授权

  • 2007-09-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-07-25

    公开

    公开

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