公开/公告号CN101691200B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200910196795.7
申请日2009-09-29
分类号B81B7/00(20060101);B81C1/00(20060101);B81C3/00(20060101);B81C5/00(20060101);G01J5/02(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:10:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-18
授权
授权
2010-05-26
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20090929
实质审查的生效
2010-04-07
公开
公开
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