薄片积层体的制造方法及薄片积层体的制造装置

摘要

本发明提供一种能在高精度定位各个薄片的基础上，短时间内高效率地制成薄片积层体的薄片积层体的制造方法，同时，提供一种能高效率地制造薄片积层体的薄片积层体的制造装置。薄片积层体的制造装置(41)按照顺序排成一列，设有一个一个搬入薄片的搬入台(2)，积层被搬运的薄片然后临时接合到前面的薄片的临时接合台(3)，加热临时接合的积层薄片的同时加压然后热压接的积层台(4)，以及搬出热压接的薄片积层体的搬出台(5)。在设置在临时接合台(3)上的对准装置(12)的下侧的吸附板上，内置有识别对准标志的照相机以及临时接合定位薄片的电热烙铁。