用于沉积由混合物组成并具有预定折射率的层的方法和系统

摘要

本发明提供一种用于沉积由混合物组成并具有预定折射率的层的方法和溅射沉积系统。溅射沉积系统包括由单个DC电源供电的多个靶阴极，每个靶阴极包括具有不同成分的靶材料。多个靶阴极被共溅射以将混合物组成的层沉积在基片上。调节多个靶阴极的操作参数可以控制复合折射率。适合的操作参数包括阴极功率、阴极电压、阴极电流、阴极架与基片的夹角，以及反应气体流率。