光吸收剂及含有光吸收剂的有机抗反射涂层组合物

摘要

本发明涉及用于有机抗反射涂层结构的光吸收剂，和含有光吸收剂的有机抗反射涂层组合物。所述光吸收剂是下列化学式(1a)、(1b)的化合物，其混合物，或化学式(2)的化合物。，其中在化学式(1a)和(1b)中，X选自取代或非取代的具有1到20个碳原子的环状化合物、芳基、二芳基醚、二芳基硫化物、二芳基亚砜和二芳基酮；且R₁是氢原子，取代或非取代的含有1到10个碳原子的烷基，或是含有1到14个碳原子的芳基。